近日，北京金竟科技有限责任公司自主研发的Pharos 310电子束曝光机正式获得北京市首台（套）重大技术装备认证，标志着该产品成为经官方权威认证的首款国产商业化电子束曝光设备。

Pharos系列电子束曝光机

电子束曝光机又称电子束光刻机，广泛应用于微纳米加工、半导体器件制备等国家战略相关领域。此前，我国在该领域长期依赖进口，并屡遭禁运，严重制约了科技事业发展。金竟科技推出的Pharos 系列电子束曝光机打破了这一局面，为解决该领域“卡脖子”困境提供了关键支撑。

金竟科技电子束曝光机早在2023年8月就已首次实现公开中标，成为该类设备国产商业化的首个标杆。在高端装备领域，技术成熟需经过长期验证。Pharos 310不仅较早通过市场检验，还已在天津大学、北京工业大学、太原理工大学、中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所等多所高校和科研机构成功验收并投入使用。

2024年，金竟科技作为重点科学仪器企业受邀参加中关村论坛，在“京津冀协同发展这十年”展区重点展出了该产品，Pharos 310首次公开亮相即引起广泛关注。2025年3月，公司总经理何超在中关村论坛“国家重大科研成果示范应用对接会-量子科技领域”发布高精度电子束曝光机技术成果，Pharos系列电子束曝光机通过持续技术迭代，已具备稳定的商业化服务能力。这种从技术突破到产业应用的快速转化，正是金竟科技作为国家级专精特新“小巨人”企业创新实力的体现。

金竟科技研发的国内首台电子束光刻机被北京电视台报道

此次获得首台（套）认证，不仅是对金竟科技技术实力的高度认可，也是我国在高端科学仪器领域自主创新能力的有力证明。

金竟科技将持续响应国家“十四五”规划中关于科技创新与产业升级的战略部署，加强同高校、科研机构及企业的合作，加速科技成果转化与应用。我们有信心在高端科学仪器领域实现更多突破，为我国科技自立自强贡献更大力量。