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阴极荧光成像与光谱探测系统——Rainbow
Rainbow系列阴极荧光成像及光谱探测系统能够与扫描电子显微镜或聚焦离子束系统配合,实现阴极荧光全谱及单谱扫描成像、光谱采集以及阴极荧光高光谱分析。系统配备荧光收集镜及传输光纤、信号调理采集系统、电子束扫描发生器、光谱仪,通过系统控制与采集软件集成控制。
系统采用电子束扫描发生器控制电子显微镜的电子束扫描和触发探测器工作,同时可采集经信号调理采集系统获得的荧光强度信号,从而实现电子束扫描信号与探测器数据采集的严格同步,获得阴极荧光成像、阴极荧光光谱面分布数据。该系统可在纳米空间分辨率下实现各类材料的阴极荧光成像和光谱测量,尤其适用于半导体材料研究、光电材料和器件研究研发、纳米光子学科学研究、薄膜和纳米结构及矿物等。
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