应用案例

Application Cases

阴极荧光系统在半导体领域的应用-Sunny

Sunny 系列阴极荧光成像系统能够实现微、纳米尺度的阴极荧光成像,具有高探测灵敏度等优势,尤其适合半导体材料与器件、地质类样品开展高效率阴极荧光强度表征与分析。

CL分析在地质学、地球和海洋科学到半导体、太阳能电池、光子学、等离子体光学和生命科学的广泛领域都很受欢迎。不同的CL成像模式允许研究光的不同属性,如发射强度、光谱组成等。这些反过来又有助于了解不同的样品特性。



一、硅片上转移的纳米柱,可实现阴极荧光的纳米尺度高分辨成像



二、GaN位错识别与位错密度统计




三、Sunny系列产品可实现正装 Mini LED 样品大面积 CL 成像


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