电子束激发荧光信号的探测和处理通常与扫描或透射电子显微镜相结合，能够实现形貌观察、结构和成分分析同电子束激发荧光光谱的结合研究。电子束激发荧光所用的电子束束斑非常小，能量高；相比于光致发光，电子束激发荧光信号具有空间分辨高、激发能量强、宽光谱范围、大激发深度等特点，并能够实现全光谱或单光谱荧光面分布成像。

一、Rainbow 系列阴极荧光成像与光谱采集系统可实现半导体阴极荧光成像及光谱采集，检测样品带边激发、缺陷、量子阱等发光峰。

二、DUV LED （FIB切片样品）阴极荧光成像和特定位置光谱采集，高光谱线扫描可实现半导体截面样品的高分辨分析，观测不同区域发光特性。

三、Mini LED 样品 全谱+单谱成像，Rainbow系列产品可实现关注信号波段的单色CL成像。

四、Rainbow系列产品可实现Micro LED 外延片不同特征区域的阴极荧光成像与光谱采集。

五、光谱面分析功能可实现对Micro LED微区同时观测 CL 图像与光谱信息的功能，并呈现出样品真实发光颜色的分布。

六、LED样品，提供不同区域发光强度分布图。

七、Rainbow 结合公司冷台产品可实现观测不同温度对GaN半导体光谱的影响。

八、半导体失效分析：Micro LED 样品缺陷分析（表面的金未被刻蚀掉，影响LED器件出光）。